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電子工業(yè)用氣體統(tǒng)稱電子氣體，指在半導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中所用到的高純度氣體，是微納電子制造國(guó)家安全戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵支撐材料，其廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路、液晶顯示器、多晶硅和薄膜太陽(yáng)能電池、新型電光源、光電半導(dǎo)體器件以及光纖通訊器件等電子行業(yè)。

近年來，隨著微納電子先進(jìn)制程向大尺寸、窄線寬、高集成度、高均勻性和高完整性發(fā)展，對(duì)電子氣體的純度和一致性要求越來越高，除了應(yīng)具有5 N (99.999%)以上純度，特種氣體，還要求電子氣體中的H2O、氣體雜質(zhì)(如O2、CO2、CO、CH4等)和金屬雜質(zhì)(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指標(biāo)達(dá)到ppb (10?9)至ppt (10?12)數(shù)量級(jí)，氣體公司，氣體的品質(zhì)要求高度穩(wěn)定且一致。

特種氣體使用安全

首先，應(yīng)對(duì)特氣的危害性進(jìn)行分析，通過本質(zhì)安全設(shè)計(jì)，消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范，對(duì)特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評(píng)估。管道設(shè)計(jì)應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測(cè)漏，確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門應(yīng)選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統(tǒng)應(yīng)采用焊接系統(tǒng)，機(jī)械接頭均應(yīng)置于抽風(fēng)罩內(nèi)。排放氣體應(yīng)進(jìn)行安全處理。氣體輸送設(shè)備具有緊急切斷功能。操作應(yīng)遵循標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程。

其次，采用監(jiān)測(cè)手段，預(yù)防事故發(fā)生。設(shè)置氣體泄漏偵測(cè)器，監(jiān)控氣體泄漏。可燃性氣體應(yīng)設(shè)置高溫或火焰?zhèn)蓽y(cè)器。危險(xiǎn)氣體應(yīng)設(shè)置過流開關(guān)。氣柜應(yīng)進(jìn)行負(fù)壓監(jiān)測(cè)，防止抽風(fēng)系統(tǒng)的失效。偵測(cè)系統(tǒng)應(yīng)與報(bào)警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應(yīng)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控。監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置不間斷電源。

特種氣體屬于工業(yè)氣體的一種。工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎(chǔ)原料，根據(jù)不同氣體的生產(chǎn)工藝和用途，可以將工業(yè)氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。其中，蘭州氣體，特種氣體是指在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的對(duì)純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的氣體，包括電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、高純度氣等種類，可應(yīng)用于電工電子、半導(dǎo)體、液晶面板、光纖、醫(yī)學(xué)研究及診斷等多個(gè)領(lǐng)域。

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